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    技術(shù)文章

    薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)各方面信息了解

    技術(shù)文章

    薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)
    Thin Film Thickness Measurement System

    快速、準(zhǔn)確、無(wú)損、靈活、易用、性價(jià)比高

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
        TF200薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理,對(duì)薄膜進(jìn)行厚度測(cè)量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線。TF200根據(jù)反射回來(lái)的干涉光,用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計(jì)算出薄膜的厚度。測(cè)量范圍1nm-3mm,可同時(shí)完成多層膜厚的測(cè)試。對(duì)于100nm以上的薄膜,還可以測(cè)量n和k值。

    應(yīng)用領(lǐng)域:

    半導(dǎo)體(SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS,SOI等)

    LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)

    LED (SiO2、光刻膠ITO等)

    觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測(cè)試等)

    汽車(防霧層、Hard CoatingDLC等)

    醫(yī)學(xué)(聚對(duì)二甲苯涂層球囊/導(dǎo)尿管壁厚藥膜等)

    產(chǎn)品的優(yōu)勢(shì)

     

     

     

    應(yīng)用案例(數(shù)據(jù)可靠)

    薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

    型號(hào)

    Delta-VIS

    Delta-DUV

    Delta-NIR

    波長(zhǎng)范圍

    380-1050nm

    190-1100nm

    900-1700nm

    厚度范圍

    50nm-40um

    1nm-30um

    10um-3mm

    準(zhǔn)確度1

    2nm

    1nm

    10nm

    精度

    0.2nm

    0.2nm

    3nm

    入射角

    90°

    90°

    90°

    樣品材料

    透明或半透明

    透明或半透明

    透明或半透明

    測(cè)量模式

    反射/透射

    反射/透射

    反射/透射

    光斑尺寸2

    2mm

    2mm

    2mm

    是否能在線

    掃描選擇

    XY可選

    XY可選

    XY可選

    注:1.取決于材料0.4%或2nm之間取較大者。

    2.可選微光斑附件。

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